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                            减反射膜

      减反射膜又称增透膜,它的主要功能是减少或消除透镜、棱镜、平面镜等学表面的反射光,从而增加这些元件的透光量,减少或消除系统的杂散光。

 

                             减反射膜原理

     反射膜是以光的波动性和干涉现象为基础的。二个振幅相同,波长相同的光波叠加,那么光波的振幅增强;如果二个光波原由相同,波程相差,如果这二个光波叠加,那么互相抵消了。减反射膜就是利用了这个原理,在镜片的表面镀上减反射膜,使得膜层前后表面产生的反射光互相干扰,从而抵消了反射光,达到减反射的效果。

                             减反射膜应用

    减反射膜的实际应用非常广泛,常见的是镜片及太阳能电池-通过制备减反射膜来提高光伏组件的功率瓦值。

    早期的光伏电池采用二氧化硅和二氧化钛膜作为减反射层。

目前晶体硅光伏电池使用的减反射膜材料是氮化硅,采用等离子增强化学气相淀积技术,使氨气和硅烷离子化,沉积在硅片的表面,具有较高的折射率,能起到较好的减反射效果。

                           减反射膜制备方法

    溶胶-凝胶法(Solgel)就是以含高化学活性组分的化合物为前驱体,在液相下将这些原料均匀混合,并进行水解、缩合化学反应,在溶液中形成稳定的透明溶胶体系,通过提拉、涂覆等工艺过程在基体上得到减反射膜。

化学气相沉积法(CVD)是把含有构成薄膜元素的气体供给衬底,利用加热、等离子体及紫外光等能源,在衬底上发生化学反应沉积薄膜,可以制备SiNZnSSiO2SiC 等太阳能电池减反射膜。

    磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极镀膜室壁之间施加直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光发电,使氩气电离。氩离子在电场作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。磁控溅射法常用制备氧化钽、氮化硅薄膜

 

关键词: 光学薄膜   增透膜        

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